安徽华中半导体材料有限公司

公司简介

安徽华中半导体材料有限公司成立于2018年，占地47亩，总投资3亿元，位于安徽省全椒县十谭产业园，系江苏华中气体有限公司全资子公司。公司主要致力于硅族气体、超高纯气体、半导体气体供应设备及纯化设备。与浙大等多所科研院校建立合作，开发高端电子深度纯化技术，致力于打造行业品质，打破国外垄断形势，填补国内量产的空白。同时为促进循环经济发展、推动双碳目标实现贡献力量。本项目将以江苏中能SiHCl3歧化法所制备的太阳能级SiH4为基础，与浙江大学硅材料国家重点实验室、江苏华中气体有限公司（江苏华中）合作，开发深度纯化技术，以生产高纯SiH4电子特气产品，高纯SiH4电子特气的纯化方法主要包括吸附/层析法、冷冻法、络合法、精馏法，及其组合方法，其中精馏法与吸附法的组合提纯方式被UCC、EMEC和法国液化空气等特气公司广泛应用。本项目中在纯化技术中进行了大量研发，在现有SiH4精馏工艺中增加活性炭/分子筛吸附环节，并通过优化吸附剂、吸附塔位置设置、精馏工艺等，降低其中氯硅烷、P、B、As、金属杂质等杂质的含量。同时，设计开发出新型气体充装装置，通过先冷凝除杂，再汽化罐装的方式，达到进一步除杂的效果，使得产品质量达到国际领先水平。并顺利入选了国家O2专利中高端特种电子气体研发与产业化中硅族气体项目。

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